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構成数 : 1
"序論 半導体産業について(はじめに/半導体産業の経済的側面について/半導体産業の成長性/半導体の技術的トレンド/知的財産権/まとめ)
1章 集積回路の製造プロセス (集積回路のできるまで/CMOSS集積回路の製造工程)
2章 設計技術 (ロジックデバイス設計技術/メモリデバイス設計技術)
3章 MOS技術 (MOSの物理/MOSFET技術)
4章 プロセス技術 (リングラフィ技術/ドライエッチング技術/酸化技術/拡散技術/成膜技術/TCAD技術)
5章 プロセスモジュール技術 (キャパシタ技術/配線技術)
6章 パッケージング技術 (パッケージの概要/アセンブリ・プロセス技術/パッケージの特性と評価技術)
7章 テスト技術 (テストの分類と目的/種類/手法/装置/パターン/プログラム/DFT)
8章 信頼性技術 (信頼性の考え方/故障メカニズム)
付録 CAD技術
"
| フォーマット | 書籍 |
| 発売日 | 2002年04月25日 |
| 国内/輸入 | 国内 |
| 出版社 | 大阪大学出版会 |
| 構成数 | 1 |
| パッケージ仕様 | - |
| SKU | 9784872590746 |
| ページ数 | 210 |
| 判型 | A5 |

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