ナノインプリント -次世代微細加工技術の最前線-

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【第I編 ナノインプリント概論】
第1章 ナノインプリントの基礎
1 熱ナノインプリント・ダイレクトナノインプリント技術
1.1 はじめに
1.2 熱ナノインプリントと高分子樹脂の力学的性質
1.3 高分子樹脂の変形メカニズム
1.3.1 シミュレーション解析
1.3.2 アスペクト比依存性
1.4 欠陥の抑制とプロセスシーケンス
1.4.1 高アスペクト比構造の成形
1.4.2 マイクロレンズ構造の成形
1.5 成形速度の依存性
1.6 ダイレクトナノインプリント
1.6.1 ガラスへのダイレクトナノインプリント
1.6.2 Auへのダイレクトナノインプリント
1.6.3 有機半導体へのダイレクトナノインプリント
1.7 まとめ
2 光ナノインプリント
3 離型プロセス
3.1 はじめに
3.2 ナノインプリントにおける離型処理方法
3.3 離型処理の評価方法
3.3.1 剥離エネルギーの測定方法
3.3.2 耐久試験方法
3.4 おわりに

第2章 ナノインプリントの進展と今後の展望・課題
1 はじめに
2 ナノインプリント技術の進化
3 今後の展望
4 おわりに

第3章 受託ナノインプリントの動向
1 はじめに
2 当社のナノインプリントビジネス
3 分野別受託ナノインプリント加工例
3.1 光学分野
3.2 ライフサイエンス
3.3 光半導体
3.4 センサー
4 ナノインプリントの要素技術と周辺技術の受注状況
5 今後のナノインプリント受託加工の取り組み

【第II編 モールド・テンプレート設計技術】
第1章 陽極酸化によるナノインプリント用モールドの作製と無反射レンズ形成への応用
1 はじめに
2 アルミニウムの陽極酸化によるモールドの作製
3 ナノインプリントによるモスアイ構造を有するレンズの作製
4 薄膜形成プロセスを利用したレンズ形状を有する陽極酸化ポーラスアルミナモールドの形成とナノインプリント
5 射出成型によるモスアイ構造を有するレンズの作製
6 最後に

第2章 ガス透過性多孔質モールドの研究進捗
1 はじめに
2 ガス透過性多孔質モールド
2.1 ガス透過性多孔質モールドの優位性
2.2 ガス透過性多孔質モールドを用いたナノインプリントプロセス
3 有機系ガス透過性多孔質モールド
3.1 金属・スーパーエンジニアリングプラスチックへの表面微細加工
4 無機系ガス透過性多孔質モールド
4.1 熱硬化型TiO2-SiO2ガス透過性多孔質モールド
4.2 光硬化型TiO2-SiO2ガス透過性多孔質モールド
4.3 TiO2-SiO2ガス透過性多孔質モールドの応用展開
4.3.1 超微細マイクロニードルの開発
4.3.2 ナノ突起抗菌プラスチックの開発
5 まとめ

第3章 光硬化性樹脂のナノインプリントへの応用
1 はじめに
2 電子部品用の永久膜への応用
3 光部品用の永久膜への応用
4 リソグラフィ用多層膜エッチングマスク
5 凝縮性ガスを導入する光ナノインプリントリソグラフィと光硬化性樹脂
6 おわりに

第4章 光学向けインプリント用材料
1 はじめに
2 光学分野へのUVナノインプリント活用
2.1 UVナノインプリント樹脂の応用分野
2.2 UVナノインプリント樹脂の要求特性
3 高屈折率ナノインプリント樹脂の開発技術
3.1 UV硬化樹脂の高屈折率化
3.1.1 屈折率を調整する元素
3.1.2 特殊な分子構造のモノマー,オリゴマー
3.1.3 ナノフィラー
3.2 ナノインプリントプロセスへの適合
3.2.1 塗布
3.2.2 流動性
3.2.3 UV硬化
3.2.4 離型性
3.3 高屈折率ナノインプリント樹脂の例
3.3.1 溶媒系高屈折率ナノインプリント樹脂の取り扱い方法と特徴
3.3.2 無溶媒系高屈折率ナノインプリント樹脂の取り扱い方法と特徴
3.4 高屈折率とナノインプリント性を両立する上での課題
4 まとめ

第5章 三次元構造
1 はじめに
2 電子ビーム露光による三次元モールド作製技術
3 三次元状ロールモールドの作製方法
4 おわりに

【第III編 プロセス最適化・シミュレーション】
第1章 シリカナノ粒子の吸着を利用したナノインプリント表面充填構造の形成
1 はじめに
2 ナノ微粒子の吸着によるナノインプリント表面の充填
3 シリカナノ粒子によるコーティング技術(ナノストラータⓇ)
4 シリカナノ粒子によるナノインプリント表面充填構造の形成
4.1 実験
4.2 断面観察試料の作製
4.3 結果
5 光学素子への応用
6 まとめ

第2章 UV-NILを用いたシ...