プラズマ産業応用技術《普及版》 ―表面処理から環境,医療,バイオ,農業用途まで―

構成数 : 1

第1章 プラズマ生成技術と応用機器
1 機能性プラズマ流体の流動と応用
1.1 はじめに
1.2 プラズマ流体の機能性とプラズマ流動システム
1.3 熱および熱非平衡プラズマ流体の応用例
1.3.1 プラズマジェットの安定化・定値制御
1.3.2 プラズマ溶射の磁場制御
1.3.3 ハイブリッドプラズマ流動システム
1.3.4 細管内プラズマポンプシステム
1.4 非熱プラズマ流体の応用例
1.4.1 燃焼促進用DBDプラズマジェット
1.4.2 微粒子およびミストDBDプラズマアクチュエータチューブ
1.4.3 気泡プラズマジェットシステム
2 プラズマの産業応用に関する技術動向
2.1 プラズマ技術とは
2.2 プラズマ技術を利用した産業の歴史
2.3 プラズマを利用した産業
2.3.1 電気集塵機(Electrostatic Precipitator:EP)
2.3.2 家庭用空気清浄機
2.3.3 ごみ処理
2.3.4 表面処理(半導体製造,塗装など)
2.3.5 水処理
2.3.6 医療
2.3.7 農業
2.3.8 その他
2.4 今後の動向
3 低温プラズマの種類・発生方法と医療分野への応用
3.1 はじめに
3.2 大気圧低温プラズマの発生方法
3.2.1 バリヤ放電プラズマ
3.2.2 高周波電極放電プラズマ
3.2.3 グライディングアーク
3.2.4 LFプラズマジェット
3.2.5 電極放電プラズマジェット
3.2.6 ダイレクト型プラズマ処理
3.2.7 リモート型プラズマ処理
3.3 大気圧低温プラズマの応用とメカニズム
3.3.1 大気圧低温プラズマ中で生成される活性種
3.3.2 低温プラズマによる微生物の不活化
3.3.3 低温プラズマによる止血
3.4 おわりに
4 熱プラズマの種類,発生方法と応用
4.1 熱プラズマの特徴
4.2 熱プラズマの発生方法
4.2.1 直流アーク
4.2.2 高周波プラズマ
4.2.3 多相交流アーク
4.3 溶射
4.4 熱プラズマによるインフライト溶融
4.5 熱プラズマによるナノ粒子合成
4.5.1 金属間化合物ナノ粒子の合成と応用
4.5.2 セラミックスナノ粒子の合成と応用
4.6 熱プラズマによる廃棄物処理
4.7 熱プラズマプロセッシングの課題
5 マイクロプラズマの発生方法と応用
5.1 マイクロプラズマとは
5.2 マイクロプラズマの発生
5.3 マイクロプラズマ駆動回路について
5.4 マイクロプラズマの応用例
5.5 マイクロプラズマによる室内空気浄化
5.6 マイクロプラズマによる表面改質
5.7 マイクロプラズマによる能動的流体制御
5.8 マイクロプラズマによる能動的微粒子制御
5.9 まとめに代えて
6 パルスパワーを用いた非熱平衡プラズマ形成とその応用
6.1 はじめに
6.2 典型的なパルス放電様相の経時変化
6.3 汎用パルス放電による非熱平衡プラズマの形成
6.4 汎用パルス放電形成非熱平衡プラズマによるプラズマプロセス
6.5 ナノ秒パルス放電による非熱平衡プラズマの形成とそのプラズマプロセス
6.6 パルスパワーを用いた非熱平衡プラズマ形成とその応用の今後
7 流水中における放電プラズマ発生システムの開発と応用
7.1 水中での放電によるプラズマの生成
7.2 水中プラズマによる金属ナノ粒子の生成
7.3 プラズマによる有機化合物の分解と活性酸素種の発生
7.4 フロー式プラズマの開発
7.5 海水など電気伝導度の高い水のプラズマ処理
7.6 キャビテーションとプラズマの融合による材料プロセッシング
7.7 おわりに
8 分光計測によるプラズマ診断
8.1 可視域におけるプラズマ分光
8.2 受動分光による温度・密度計測
8.2.1 ドップラー拡がりによる原子・イオン温度計測
8.2.2 ボルツマンプロット法による電子温度計測
8.2.3 連続スペクトル放射を用いた電子温度計測
8.2.4 シュタルク拡がりによる電子密度計測
8.3 発光線強度比法による電子温度・密度計測
8.4 輻射輸送
8.5 分子分光による振動・回転温度計測

第2章 表面処理への応用
1 コロナ処理による表面改質技術
1.1 はじめに
1.2 コロナ処理装置の構成
1.2.1 コロナ処理装置の構成
1.2.2 導入事例
1.2.3 放電部の構成
1.3 表面の改質効果
1.3.1 接触角・ぬれ張力
1.3.2 化学的改質
1.3.3 物理的改質
1.4 経時変化
1.5 金属箔への処理
1.6 不織布への処理
1.7 おわりに
2 大気圧プラズマ表面処理装置の開発
2.1 はじめに
2.2 新しい大気圧プラズマ装置
2.2.1 マルチガスダメージフリープラズマジェット
2.2.2 平面処理用リニア型ダメージフリープラズマ
2.2.3 大気圧マル...